扫描电子显微镜能够实现各类样品的二维测量与分析：如需分析样品的三维表面，则可使用 3DSM 系统扩展软件。3DSM 是一款基于计算机的蔡司应用程序，仅使用扫描电子显微镜的 AsB 探测器就可重构完整三维表面模型来表征样品的表面形貌信息。

   •  通过电子显微镜上的 AsB 或 4QBSD 探测器进行样品表面的三维重构

   •  与 SmartSEM 组合使用，在实时模式下执行实时三维成像，或在独立模式下显示归档项目文件

   •  在实时模式下完成实时操作，且重构时间 < 1s

   •  使用 3DSM 计量功能升级 MERLIN 场发射扫描式电子显微镜，以实现自动测量和文档编制，符合 ISO 25178、DIN、ASME 及其他常规检测标准

   •  分析三维表面和生成完整测量记录

   •  表征表面特性和参数，例如步进高度、距离、纳米轮廓、粗糙度和波纹度、颗粒和晶粒大小
   •  生成含完整计量数值的溯源性报告